探针台 EG4085

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概述：

  EG4085是半导体8英寸及以下晶片在片测试生产的全自动探针台，设计上具有高精度、模块化的特点，可以按照客户的功能要求进行组件的选配。通过可选组件的配置可以实现自动上卸片、晶片自动对准、自动测试、载片台(CHUCK)温度控制、自动分选等功能。

  EG4085系列自动探针台的核心是采用空气静压轴承的Linear Reluctance Stepper Motor 磁阻式平面步进电机。该结构具有气浮轴承长期连续使用无机械磨损、控制系统完善、步进精度高、启停迅速、噪音小、维护方便等优点。